華燦光電追加訂購Veeco的MOCVD設(shè)備生產(chǎn)LED
日前，VECO宣布中國領(lǐng)先的LED制造商之一，華燦光電股份有限公司追加訂購了TurboDisc®MaxBright®GaN MOCVD設(shè)備來大批量生產(chǎn)用于顯示器和普通照明的發(fā)光二級管(LEDs)。該訂單下于2012年的第三季度，訂購的是Veeco的最新高產(chǎn)能版設(shè)備(MHP)。
華燦光電的總裁劉榕博士表示：“Veeco的設(shè)備能提供穩(wěn)定的工藝，已經(jīng)幫助我們成功地生產(chǎn)出了高品質(zhì)、高亮度的LEDs。新增的MaxBright MHP機臺，由于可以從現(xiàn)有的Veeco機臺無縫工藝轉(zhuǎn)移，我們生產(chǎn)線的產(chǎn)能可以獲得迅速增加。”
Veeco高級副總裁Jeff Hawthorne表示：“我們很榮幸華燦光電再次選擇Veeco技術(shù)來滿足生產(chǎn)需求，MaxBright MHP設(shè)備能在降低生產(chǎn)成本的同時，有助于推動客戶的生產(chǎn)力和良率。”
關(guān)于TurboDisc MaxBright MPH氮化鎵MOCVD多反應(yīng)腔設(shè)備
MaxBright MHP設(shè)備是業(yè)內(nèi)生產(chǎn)效率最高的MOCVD設(shè)備，該設(shè)計旨在生產(chǎn)高品質(zhì)、高亮度LED。與MaxBright相比，晶圓內(nèi)波長均勻性提高了20%，增加了維修便利性，而且廠房利用率提高了15%。通過改善熱性能和流動性，良率得以提高。該設(shè)備采用了Veeco已經(jīng)生產(chǎn)驗證的UniformFlowFlange?技術(shù)和自動化經(jīng)驗，將多個高產(chǎn)能的MOCVD反應(yīng)腔組合成模塊化的2-或4-的集群構(gòu)架。
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