傳統(tǒng)的鋁表面化學(xué)拋光溶液含硝酸，會產(chǎn)生有毒“黃煙”危害工人健康，污染環(huán)境。氧化通常在低溫下工作，需要冷凍設(shè)備，投資較高。

    新工藝的特點：

    1、化學(xué)拋光溶液不 含硝酸，不產(chǎn)生“黃煙”，消除環(huán)境污染，其產(chǎn)品質(zhì)量達到含硝酸及傳統(tǒng)工藝水平，再經(jīng)電拋光，可獲得表面鏡面光亮的效果;

    2、陽極氧化可在常溫下進行，氧化膜不亞于低溫傳統(tǒng)工藝的質(zhì)量。

    3、直線電鍍線

    直線式電鍍線為電鍍生產(chǎn)線最常見、最基本的形式，其結(jié)構(gòu)簡單合理，工藝流程修改靈活，操作方便，廣泛應(yīng)用于汽車、摩托車、自行車、線路板、電子元器件、五金電器等行業(yè)。

    直線式電鍍線的控制方式分為自動、半自動、手動等形式，目前自動控制普遍采用可編程控制器(PLC)+變頻器+觸摸屏控制方式，隨著電控技術(shù)的發(fā)展，工控機(上位機)技術(shù)已能成熟應(yīng)用到該類型的生產(chǎn)線上，同工藝、小批量、多品種的產(chǎn)品已能實現(xiàn)混合生產(chǎn)方式，能滿足不同用戶的實際需求。

    2、直線電鍍線類型

    2.1直線式電鍍線根據(jù)工件的裝夾方式不同可分為掛鍍和滾鍍二種形式。

    2.2直線式電鍍線根據(jù)外形的不同可分為龍門式和懸臂式二種形式。

    2.3直線式電鍍線根據(jù)根據(jù)導(dǎo)軌立柱的結(jié)構(gòu)不同可分為整體框架拼裝式和立柱基礎(chǔ)直聯(lián)式二種形式。

    龍門式全自動生產(chǎn)線

    懸臂式全自動鍍金銀生產(chǎn)線

    4、電子元器件高速連續(xù)電鍍設(shè)備

    1、高速連續(xù)電鍍自動線的特點

    1.1鍍速快、效率高，電鍍線的鍍速，一般可達到7—8m/min，對有些產(chǎn)品甚至可達到20m/min;

    1.2自動化程度高，產(chǎn)品質(zhì)量穩(wěn)定;，高了生產(chǎn)效率，減少人為因素對產(chǎn)品質(zhì)量的影響;

    1.3適合各種電鍍區(qū)域控制的要求，既可全鍍，也可局部鍍;

    1.4符合環(huán)�？刂埔���。

    2、高速連續(xù)電鍍設(shè)備介紹

    2.1連續(xù)電鍍設(shè)備的基本結(jié)構(gòu)

    2.1.1連續(xù)自動電鍍設(shè)備一般由二部分組成，即傳送裝置及電鍍槽系統(tǒng)。

    2.1.2

    電鍍槽系統(tǒng)一般都是采用子母槽結(jié)構(gòu)，將母槽的藥水由泵抽到子槽，在子槽中對工件完成電鍍、清洗等工序，鍍液再從子槽流回母槽。

如此周而復(fù)始，保證電鍍過程的連續(xù)進行。

    2.2高速連續(xù)電鍍設(shè)備的類型

    根據(jù)工件類型可分為“卷對卷”式和“片對片”式，根據(jù)電鍍位置控制方法的不同，又可分為浸鍍、輪鍍、壓板式噴鍍等類型。

    2.2.1卷對卷式連續(xù)全浸鍍生產(chǎn)線

    2.2.2卷對卷式連續(xù)局部浸鍍生產(chǎn)線

    2.2.3卷對卷式連續(xù)輪鍍(噴鍍)自動線

    2.2.4卷對卷壓板式噴鍍自動線

    2.2.5片式局部噴鍍自動線

    2.2.6片式連續(xù)全浸鍍自動生產(chǎn)線

    3、高速連續(xù)電鍍自動線的工藝流程

    不同產(chǎn)品對鍍層要求不同，其工藝流程排布也有所不同，但基本過程一致，都需經(jīng)過去油、活化、電鍍、清洗、烘干等工序。

    3.1IC塑封引線框架電鍍工藝流程

    上料→電解去油→水洗→酸活化→水洗→預(yù)鍍銅一水洗→預(yù)浸(鍍)銀→水洗→局部鍍銀→回收→水洗→退鍍銀→水洗→防變色劑→水洗→高純水洗→吹風(fēng)→烘干→下料。

    3.2接插件電鍍工藝流程

    上料→電解去油→水洗→酸活化→水洗→鍍鎳→水洗→局部鍍金→水洗→活化→局部鍍錫鉛→水洗→中和→水洗→純水洗→吹風(fēng)→烘干→下料。

    4、發(fā)展趨勢

    近年來，國內(nèi)電子元器件業(yè)發(fā)展迅速，有望成為國際上最大的電子元器件生產(chǎn)基地。因此，國內(nèi)對于高速連續(xù)電鍍線的需求市場會逐漸增大，開發(fā)高性能的高速電鍍配套產(chǎn)品應(yīng)有很大的市場潛力。

    5、晶圓凸點電鍍設(shè)備

    主要用于晶片上凸點的制作，主要包括金凸點、焊料凸點的制作。

    1、金凸點工藝:

    1.1設(shè)備條件：

    設(shè)備名稱：AIT噴鍍系統(tǒng)

    槽數(shù)：2

    基板尺寸：3～6″

    膜層均勻性：<5%

    1.2電鍍液：環(huán)保型無氰電解液。

    1.3凸點下金屬化膜：Cr/Au、Ti/Au、TiW/Au。

    1.4凸點下金屬化膜的腐蝕：電腐蝕和化學(xué)腐蝕。

    1.5金凸點高度：>20um。

    1.6金凸點尺寸：50×50um2。

 1.7金凸點表面狀態(tài)：晶粒細小且光亮。

    2、焊料凸點工藝:

    2.1設(shè)備條件：

    設(shè)備名稱：AIT掛鍍系統(tǒng)

    槽數(shù)：3

    基板尺寸：3～6″

    膜層均勻性：<5%

    2.2電鍍液：有機酸鹽電解液。

    2.3凸點下金屬化膜：Cr/Cu、Ti/Cu、TiW/Cu。

    2.4凸點下金屬化膜的腐蝕：化學(xué)腐蝕和干法腐蝕。

    2.5焊料凸點高度：>50um。

    2.6焊料凸點尺寸：Φ100um。

    2.7焊料凸點表面狀態(tài)：光亮。

    3、發(fā)展趨勢

    圓片級封裝中采用電鍍法制作金凸點有著廣闊的應(yīng)用前景，經(jīng)過實驗和工藝優(yōu)化，已掌握了其中的關(guān)鍵技術(shù)，并已實際應(yīng)用到LCD驅(qū)動器的芯片上。LCD驅(qū)動器的芯片面積小，但是I/O端數(shù)量較多，約在200～300個以上。如果用傳統(tǒng)的IC封裝技術(shù)封裝這類芯片，顯然不適合便攜式電子產(chǎn)品對元器件短、小、輕、薄的要求，采用在硅芯片的壓焊塊上制作金凸點作為引出端的形式，已越來越受到封裝界的重視。

    “三槽晶圓凸點電鍍臺”是我所根據(jù)目前國內(nèi)半導(dǎo)體制造業(yè)的需求狀況、參照國際先進技術(shù)而成功研制的設(shè)備，專用于晶圓凸點制作及陶瓷基板上的金、鎳、鉛錫等金屬層的電鍍。該設(shè)備主要由電鍍液循環(huán)系統(tǒng)、電器控制系統(tǒng)和電源系統(tǒng)等組成。電鍍方式為掛鍍。具有鍍液機械攪拌、連續(xù)循環(huán)過濾、PH值自動控制、去離子水噴洗和氮氣吹干等功能。

    設(shè)備外形美觀大方，操作簡便，適用性強，制造的凸點的尺寸精度、均勻性及鍍層質(zhì)量均達到進口設(shè)備指標。該設(shè)備的研制成功填補了國內(nèi)半導(dǎo)體制造業(yè)中電鍍臺設(shè)備的空白，標志著我所的電鍍設(shè)備研發(fā)水平已達國內(nèi)領(lǐng)先地位。

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